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P: Fachverband Plasmaphysik

P 18: Diagnostische Methoden

P 18.2: Vortrag

Donnerstag, 22. März 2007, 11:55–12:10, 6F

Bestimmung der Teilchenflüsse in DC Plasmajet Quelle — •Nikita Bibinov¹, Damian Dudek², Peter Awakowicz¹ und Jürgen Engemann² — ¹AEPT, Ruhr Universität ,Universitätsstr 150,44780 Bochum — ²fmt, Bergische Universität Wuppertal,42119 Wuppertal

Emissionsspektroskopische Messungen und die plasmakinetische Modellierung wurden herangezogen, um typische Plasmaparameter wie Elektronendichte und Elektronenverteilungsfunktion in einer Gleichstrom Atmosphärendruck Plasmajet Quelle zu bestimmen. Der zu ionisierende Gasfluss bestand aus einer Mischung von 1000 sccm Stickstoff und 1 sccm Sauerstoff. Die Flüsse von Stickstoff- und Sauerstoffatomen sowie Radikalen außerhalb der Düse der Plasmaquelle wurden ausgerechnet. Es werden emissionsspektroskopische Messungen in guter Übereinstimmung mit berechneten Werten präsentiert. Die gefundenen Plasmaparameter sind bei der Beschreibung von Wechselwirkungen mit zu behandelnden Substraten notwendig. Mögliche Anwendungsgebiete können Ätzung oder Deposition von dünnen Schichten an lokalen Bereichen eines Substrates sein.