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Düsseldorf 2007 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 22: Poster

P 22.11: Poster

Thursday, March 22, 2007, 16:30–18:30, Poster A

Zeitaufgelöste Emissionsspektroskopie an Mikroplasma-Arrays — •Jochen Waskönig1, Volker Schulz-von der Gathen1, Jörg Winter1, Gary. Eden2 und Sun-Jin Park21Ruhr-Universität Bochum, Institut f. Experimentalphysik II, 44780 Bochum — 2University of Illinois, Urbana, Illinois 61801, USA

Hier stellen wir erste emissionsspektroskopische Untersuchungen an Mikroplasma-Arrays vor. Die Arrays wurde von der Gruppe von G. Eden [1] zur Verfügung gestellt und bestehen zum Beispiel aus 50 · 50 pyramiden-fömigen Mikroentladungen von jeweils 50 µm Kantenlänge, die parallel geschaltet sind. Als Trägergas werden Edelgase insbesondere Argon, Helium und Neon nahe Atmosphärendruck untersucht. Die µ-Plasma-Arrays werden mit Leistungen von ca. 10 W bei Anregungsfrequenzen im Bereich von 20 kHz betrieben. Untersucht werden insbesondere die zeitabhängigen Reaktionen der Emission auf unterschiedliche Anregungsformen (Sinus, Dreieck, Rechteck). Die Analyse der elektrischen Signale erlaubt im Vergleich mit phasenaufgelöster Emissionsspektroskopie (PROES) mit einer Zeitauflösung bis hinab zu 5 ns die Untersuchung dynamischer elektronischer Anregungsvorgänge im Inneren von Mikroplasmen.
[1] J G Eden and S-J Park, Plasma Phys. Control. Fusion 47 (2005) B83 - B92

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