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Düsseldorf 2007 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 22: Poster

P 22.15: Poster

Thursday, March 22, 2007, 16:30–18:30, Poster A

Gleichstromgetriebene Atmosphärendruck-Plasmajet-Quelle: Zündverhalten und Plasmacharakterisierung — •Damian Dudek1, Nikita Bibinov2, Jürgen Engemann1 und Peter Awakowicz21Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik-fmt, Universität Wuppertal, Rainer-Gruenter-Strasse 21, 42119 Wuppertal — 2Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik, Universität Bochum, 44780 Bochum

Eine glimmähnliche DC-Entladung unter Atmosphärendruck erzeugt mit einer Hochspannungsquelle wird durch eine adäquate Geometrie als Plasmastrahl aus einer Düse getrieben. Um das Zündverhalten zu untersuchen werden Messungen der Zündspannung und Simulation der elektrischen Feldstärke im stark inhomogenen elektrischen Feld dargestellt. Die Absenkung der Zündspannung durch Variation der Geometrie zeigt sich anhand des Vergleiches mit dem Townsendmechanismus im homogenen elektrischen Feld. Zwei unterschiedliche nicht-invasive Messmethoden der Temperaturmessung in Abhängigkeit der eingespeisten elektrischen Leistung geben Auskunft über die Gastemperatur des Plasmastrahls. Der Temperaturbereich (550K<Tgas<1000K) im aktiven Bereich der Entladung an der Kathode korreliert gut mit den beiden Messmethoden. Die Temperaturen auf einer Substratoberfläche außerhalb der Quelle liegen zwischen 30 und 95C.Die Produktion von unterschiedlichen Gasspezies und deren Fluss wird mittels der optischen Emissionsspektroskopie analysiert. Die Arbeiten an beiden Instituten werden durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) im Rahmen des Graduiertenkollegs 1051 gefördert.

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