Düsseldorf 2007 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

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P 22.20: Poster

Donnerstag, 22. März 2007, 16:30–18:30, Poster A

Nichtlineares Verhalten von kapazitiv gekoppelten Zweifrequenzentladungen — •Dennis Ziegler und Ralf Peter Brinkmann — Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, 44780 Bochum

Kapazitiv gekoppelte Zweifrequenzentladungen (2f-CCPs) nehmen eine zunehmend wichtige Rolle in der Plasmaprozesstechnik ein. Ihr großer Vorteil gegenüber konventionellen Einfrequenzentladungen besteht darin, daß sowohl die Ionenenergie, als auch der Ionenfluß auf ein zu bearbeitendes Werkstück, weitgehend unabhängig voneinander beeinflusst werden können.

Das Ziel dieses Beitrages besteht darin, das nichtlineare Hochfrequenzverhalten von 2f-CCPs anhand der Analyse im Plasma fließender HF-Ströme, die mittels unterschiedlicher Modelle berechnet werden, zu untersuchen. Wählt man das Verhältnis der beiden Anregungsfrequenzen in geeigneter Weise, so zeigen sowohl berechnete, als auch gemessene HF-Ströme, interessante nichtlineare Effekte.

Unterschiedliche Ansätze zur Modellierung der Randschicht, als wichtigen Teil eines HF-Modells, sowie das Konzept der Plasmaserienresonanz, werden dazu verwendet, die auftretenden Effekte besser zu verstehen.