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P: Fachverband Plasmaphysik
P 22: Poster
P 22.21: Poster
Donnerstag, 22. März 2007, 16:30–18:30, Poster A
Anomaler Skineffekt in induktiv gekoppelten Hochfrequenzplasmen — Thomas Eisenbarth1, •Thomas Mussenbrock2 und Ralf Peter Brinkmann2 — 1Ruhr-Univertät Bochum, Lehrstuhl für Kommunikationssicherheit, D-44780 Bochum — 2Ruhr-Univertät Bochum, Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, D-44780 Bochum
Die Art und Weise der Einkopplung elektromagnetischer Energie in ein Plasma ist entscheidend für dessen Homogenität. Beim induktiv gekoppelten Plasma spielt der anomale Skineffekt eine wichtige Rolle – der Mechanismus der Elektronenheizung und Energieabsorption steht in direktem Zusammenhang mit dem Skineffekt. In diesem Beitrag wird ein analytisches nichtlokales Modell zu Beschreibung des anomalen Skineffekts vorgestellt, welches in der Lage ist, die Unregelmäßigkeiten zu beschreiben, die sich einer klassischen elektrodynamischen Beschreibung entziehen.