Düsseldorf 2007 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 7: Poster

P 7.34: Poster

Monday, March 19, 2007, 16:30–18:30, Poster A

Parametrisierung des Ionenstroms von Sondenkennlinien — •Birger Buttenschön, Oliver Arp und Alexander Piel — IEAP, CAU-Kiel, D-24098 Kiel

Langmuirsonden sind eines der wichtigsten Hilfsmittel zur Bestimmung von Plasmaparametern in Gasentladungen. Abhängig von den gegebenen Entladungsbedingungen werden bei der Auswertung der Sondenkennlinien Theorien wie orbital motion [1] oder radial motion [2] genutzt. Unter der Annahme einer stoßfreien Randschicht gibt es Parametrisierungen für die orbital motion-Theorie [3], für den stoßbehafteten Fall muss auf die in tabellarischer Form vorliegenden numerischen Rechnungen zur Anpassung von Kennlinien zurückgegriffen werden. Dieses Poster stellt Überlegungen und Ansätze zur Parametrisierung der radial motion-Theorie mit Stößen vor, die zu einer einfacheren und schnelleren Auswertung von Sondenkennlinien führen können. [1] J.G.Laframboise, Report No 100, UTIAS (1966) [2] J.E.Allen, R.L.F.Boyd, P.Reynolds, Proc. Phys. Soc. 70 (1957) [3] M. Mausbach, J. Vac. Sci. Technol. A 15 (1997)