Düsseldorf 2007 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 7: Poster

P 7.8: Poster

Montag, 19. März 2007, 16:30–18:30, Poster A

Messung der Elektronendichte mittels optischer Emissions- spektroskopie (OES) und Vergleich mit anderen diagnostischen Methoden — •Stephan Dietrich^1,2 und Ursel Fantz^1,2 — ¹Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik, Institut für Physik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg — ²Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Assoziation, 85748 Garching

Ein wichtiger Parameter für Quellen- und Prozessoptimierung ist die Elektronendichte, für die es verschiedene, meist unterschiedlich aufwändige, Diagnostiken gibt. Eine Methode, die weder das zu untersuchende Plasma stört noch einen aufwändigen Aufbau hat, ist die optische Emissionsspektroskopie. Über die Messung von Linienverhältnissen erlaubt diese mit Hilfe von effektiven Emissionsratenkoeffizienten aus Stoß-Strahlungsmodellen eine einfache Bestimmung der Dichte. Um die OES zu verifizieren, werden die Ergebnisse mit denen aus Doppelsonde und Interferometrie an einem homogenen ECR-Plasma (f = 2.45 GHz, P_max = 1 kW) verglichen. Die Homogenität dieses Plasmas erlaubt einen besseren Vergleich zwischen sichtstrahlintegrierenden Methoden und den lokal messenden Sonden. Ferner zeichnet sich das ECR-Plasma durch einen großen Druck- und Leistungsbereich aus, so dass eine Gegenüberstellung der verschiedenen Methoden für einen großen Parameterbereich (n_e=1 · 10¹⁶ − 5 · 10¹⁸ m⁻³, T_e=1.5 − 12 eV) in Helium-, Argon- und Wasserstoff-Mischplasmen möglich ist.