Düsseldorf 2007 – wissenschaftliches Programm

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SYOH: Symposium Optische Hochleistungsbeschichtungen für den Einsatz in Lasersystemen und anderen Anwendungen

SYOH 2: Design, Herstellung und Kontrolle (Fortsetzung)

SYOH 2.1: Hauptvortrag

Mittwoch, 21. März 2007, 14:00–14:30, 6A

Herstellung optischer Hochleistungsschichten — •Harro Hagedorn — Leybold Optics GmbH, Alzenau, Germany

Plasmaunterstützte Verfahren zur Herstellung optischer Hochleistungsschichten haben sich in den letzten Jahren zunehmend in den Fertigungsprozessen etabliert. Neben dem Einsatz des richtigen Beschichtungsverfahren zur Erzielung der gewünschten Schichteigenschaften kommt es in Zukunft vermehrt darauf an, diese Verfahren auf großen Flächen mit hohen Beschichtungsraten so zu kontrollieren, dass auch bei anspruchsvollen Beschichtungen eine kostengünstige Fertigung möglich ist. Darüber hinaus müssen immer komplizierte Schichtdesigns in immer kürzeren Zeiten in den Produktionsprozess überführt werden. Die direkte optische in-situ Schichtdickenkontrolle hat sich dabei zu einem der wirkungsvollsten Instrumente entwickelt, diese Ziele zu erreichen.