Düsseldorf 2007 – scientific programme

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SYOH: Symposium Optische Hochleistungsbeschichtungen für den Einsatz in Lasersystemen und anderen Anwendungen

SYOH 3: Anwendungen in der Lasertechnik

SYOH 3.1: Invited Talk

Wednesday, March 21, 2007, 15:00–15:30, 6A

Optische Beschichtungen für Laseranwendungen — •Johannes Ebert — Laseroptik GmbH, Gneisenaustr. 14, D-30826 Garbsen

Die Qualität der optischen Schichten bestimmt wesentlich die Effizienz eines Lasers. In diesem Beitrag sollen daher die gängigen Techniken für die Herstellung hochwertiger optischer Laserkomponenten betrachtet und in ihren Ergebnissen verglichen werden. Neben den bekannten optischen Parametern zur Charakterisierung der Schichten, wie Reflexion, Transmission, Absorption und Streuung, spielen hauptsächlich Zerstörschwelle, innere Spannungen und Umweltstabilität eine entscheidende Rolle für die Auswahl des Herstellungsverfahrens und der Schichtmaterialien. Zunehmend werden Beschichtungen auf temperatur- und feuchtigkeitsempfindlichen Kristallen und auf Lasergläsern gefordert, wobei zusätzlich die Haftfestigkeit problematisch ist. Ionengestützte Aufdampfverfahren, gepulstes Magnetronsputtern, Ionenplattieren und Ionenstrahlsputtern bieten heute eine breite Palette von effizienten Prozessen, die eine wirtschaftliche Herstellung qualitativ hochwertiger Schichten ermöglichen. Während höchste Zerstörschwellen für resonatorinterne Dünnschicht-Polarisatoren noch immer mit dem klassischen Elektronenstrahl-Verdampfen erreicht werden, können höchste Reflexionen sicher durch das aufwendige Ionenstrahlsputtern erzeugt werden. Für hohe thermische Stabilität und Streßfreiheit eignen sich die ionengestützten Verfahren und für harte, weltraumtaugliche Schichten haben sich Sputterverfahren bewährt, die zugleich auch eine hohe Reproduzierbarkeit für die Herstellung von fs-Spiegel bieten.