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SYOH: Symposium Optische Hochleistungsbeschichtungen für den Einsatz in Lasersystemen und anderen Anwendungen

SYOH 3: Anwendungen in der Lasertechnik

SYOH 3.4: Hauptvortrag

Mittwoch, 21. März 2007, 17:00–17:30, 6A

Innovatives Magnetronsputtern für die Lasertechnik — •Michael Scherer — Leybold Optics GmbH, Siemensstrasse 88, 63755 Alzenau, Germany

Mit der absehbaren starken Zunahme der Laseranwendungen in zahlreichen Bereichen wie Medizin, Materialbearbeitung, Spektroskopie, Grundlagenforschung wird auch die Anzahl hochwertig beschichteter Komponenten stark zunehmen. Ein plasmaunterstützter, reaktiver Magnetron Sputterprozess besitzt das Potential diese anspruchsvollen Komponenten auch wirtschaftlich zu beschichten. Die Vorteile dieser Technik sowie einige ausgewählte Beispiele werden präsentiert.