Düsseldorf 2007 – scientific programme

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SYOH: Symposium Optische Hochleistungsbeschichtungen für den Einsatz in Lasersystemen und anderen Anwendungen

SYOH 5: Optiken im DUV/EUV-Spektralbereich (Fortsetzung)

SYOH 5.1: Invited Talk

Thursday, March 22, 2007, 14:00–14:30, 6A

Optische Hochleistungsbeschichtungen in Excimer Lasern — •Claus Strowitzi — Coherent München, Zielstattstrasse 32, 81379 München

In den letzten Jahren gab es bei der Entwicklung von kompakten Excimerlaser, bezüglich Laserröhre und Schaltkreis, viele Innovationen. Ziel aller Entwicklung war die Vergrößerung von Lebenszeiten und die Reduzierung der Betriebskosten für die Kunden. Ein wesentlicher Punkt ist die Verlängerung der Optiklebensdauer. Durch neue Beschichtungsverfahren ist es gelungen die Optiklebensdauern bei 193nm ArF* Excimerlasern auf 7 Milliarden Pulsen zu steigern. Der Stand der Technik und zukünftige Entwicklungen werden aufgezeigt.