Düsseldorf 2007 – scientific programme

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SYOH: Symposium Optische Hochleistungsbeschichtungen für den Einsatz in Lasersystemen und anderen Anwendungen

SYOH 6: Industrielle Anwendungen

SYOH 6.1: Invited Talk

Thursday, March 22, 2007, 15:00–15:30, 6A

Herstellung und Anwendungspotenziale hochwertiger optischer Funktionsschichten durch Magnetron-Sputtertechnik — •Michael Vergöhl, Bernd Szyszka, Christoph Rickers und Andreas Pflug — Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, Braunschweig, Deutschland

Bei der Abscheidung optischer Funktionsschichten durch physikalische Plasmaverfahren hat das Zerstäuben von Kathoden in Magnetronplasmen (Magnetronsputtern) eine herausragende Bedeutung. Während die ersten Anwendungen, unterstützt durch die Einführung der Wärmeschutzverordnung 1995, im Bereich der Wärmeschutzbeschichtung von Architekturglas lagen, sind eine Vielzahl neuer Anwendungen entstanden, unter anderem in den Bereichen Flachglas, Automobil, Displays und Präzisionsoptik. Der Vortrag beleuchtet die spezifischen Aspekte der Prozessführung für die Entwicklung und Herstellung optischer Schichten und geht auf die Anwendungspotenziale der Magnetronsputtertechnik für die Abscheidung optischer Funktionsschichten für industrielle Anwendungen ein. Dabei werden auch neueste Entwicklungen wie die Nutzung hoch ionisierter Plasmen mittels Hochenergie-Pulssputtern diskutiert.