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SYOH: Symposium Optische Hochleistungsbeschichtungen für den Einsatz in Lasersystemen und anderen Anwendungen

SYOH 6: Industrielle Anwendungen

Donnerstag, 22. März 2007, 15:00–17:00, 6A

	15:00	SYOH 6.1	Hauptvortrag: Herstellung und Anwendungspotenziale hochwertiger optischer Funktionsschichten durch Magnetron-Sputtertechnik — •Michael Vergöhl, Bernd Szyszka, Christoph Rickers und Andreas Pflug
	15:30	SYOH 6.2	Hauptvortrag: Innovative stationary and in-line sputter technologies for precision optical coatings — •Peter Frach, Hagen Bartzsch, Joern-Steffen Liebig, Joern Weber, and Volker Kirchhoff
	16:00		30 min break
	16:30	SYOH 6.3	Anforderungen an Hochleistungsschichtsysteme für die DUV - Lithographie — •Martin Bischoff, Dieter Gäbler und Norbert Kaiser
	16:45	SYOH 6.4	Charakterisierung optischer Hochleistungsschichten — •Christian Mühlig, Wolfgang Triebel, Siegfried Kufert und Christian Noppeney