Regensburg 2007 – wissenschaftliches Programm

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CPP: Fachverband Chemische Physik und Polymerphysik

CPP 3: Colloids and Nanoparticles I: Structure

CPP 3.9: Vortrag

Montag, 26. März 2007, 12:15–12:30, H47

Miniemulsionen als Basis hochgeordneter Nanopartikel-Ensembles und ihre Anwendung als Ätzmaske — •Achim Manzke¹, Fabian Enderle¹, Christian Pfahler¹, Alfred Plettl¹, Paul Ziemann¹, Eyk Schreiber², Daniel Crespy², Ulrich Ziener² und Katharina Landfester² — ¹Institut für Festkörperphysik, Universität Ulm, D-89069 Ulm — ²Institut für Organische Chemie III, Universität Ulm. D-89069 Ulm

Die Miniemulsionstechnik erlaubt die Herstellung kolloidaler Polystyrol-Partikeln in wässeriger Lösung, die mit metallischen Precursoren beladen sind. Wir berichten über Kolloide und Kern-Schale-Kolloide mit Pt-Komplex-Beladung. Auf hydrophile Si/SiOx-Substrate aufgetropft, bilden sich hexagonal hochgeordnete Partikel-Monolagen aus. Optimierte Plasma- und Temperprozesse erzeugen Pt-Nanopartikel unter Beibehaltung der ursprünglichen Ordnung. Die Größe der Partikel wird durch die Metallkonzentration im Kolloid bestimmt und konnte bisher zwischen 6 und 13 nm variiert werden. Diese neue Technik besitzt das Potential, die Grenzen der mizellaren Technik [1] hinsichtlich Ordnung und Teilchenabstand deutlich zu übertreffen. Als Anwendung wird gezeigt, wie sich diese Nanopartikel als direkte oder invertierte Ätzmasken in RIE-Prozessen verwenden lassen.

[1] Micellar Nanoreactors - Preparation and Characterization of hexagonally ordered Arrays of Metallic Nanodots, G. Kästle et al. Adv. Funct. Mat. 13, 853 (2003).