Regensburg 2007 – wissenschaftliches Programm

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DS: Fachverband Dünne Schichten

DS 15: Poster Session

DS 15.54: Poster

Dienstag, 27. März 2007, 15:00–17:00, Poster B

Modifizierung von medizinischen CoCr-Legierungen mit PIII — •Johanna Lutz^1,2, Antje Lehmann² und Stephan Mändl² — ¹Translationszentrum regenerative Medizin, Universität Leipzig, Leipzig — ²Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung, Leipzig

Stickstoffimplantation in CoCr-Legierungen mit hohen Fluenzen bei erhöhter Temperatur führt zur Ausbildung einer dicken Oberflächenschicht mit Stickstoffgehalten bis zu 30 at.%. Als Verfahren wurde die Plasmaimmersionsionenimplantation bei einem Hintergrunddruck von 0.1 bis 1 Pa bei einer Plasmadichte von etwa 5−10× 10¹⁰ cm⁻³ verwendet. Unterhalb von 450 ^∘C findet sich eine thermisch aktivierte Diffusion mit einer Aktivierungsenergie von ungefähr 0.6 eV. Für höhere Temperaturen beobachtet man jedoch eine Sättigung der Schichtdicke, unabhängig von Stickstofffluenz bzw. Behandlungszeit. Untersuchungen zur Menge des eingebauten Stickstoffs bzw. der Druckabhängigkeit legen den Schluss nahe, dass neben der Implantation eine erhöhte Stickstoffaufnahme aus der Gasphase vorhanden ist, die dann bei höheren Temperaturen die Prozesskinetik begrenzt.