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DS: Fachverband Dünne Schichten

DS 15: Poster Session

DS 15.62: Poster

Dienstag, 27. März 2007, 15:00–17:00, Poster B

Herstellung und Charakterisierung piezoelektrischer Zinkoxid-Schichten für Biochipanwendungen — •Kerstin Franziska Wätje¹, Jens Ebbecke¹, Jörg Lindner², Walter Assmann³ und Achim Wixforth¹ — ¹Universität Augsburg, Lehrstuhl für Experimentalphysik I, 86159 Augsburg — ²Universität Augsburg, Lehrstuhl für Experimentalphysik IV, 86159 Augsburg — ³Beschleunigerlaboratorieum des MLL der LMU und TU München, 85748 Garching

Akustische Oberflächenwellen (SAW) finden unter anderem bei Hochfrequenzfiltern einen großen Anwendungsbereich; auch in der Biophysik werden solche Bauelemente zur gezielten Agitation bzw. Aktorik kleinster Flüssigkeitsmengen verwendet. Als Alternative zu piezoelektrischen Einkristallen, die zur Erzeugung von SAWs nötig sind, gilt polykristallines, c- Achsen-orientiertes Zinkoxid. Betrachtet wird die Deposition von ZnO-Schichten der optimalen Textur (002) auf Silizium- und Glassubstraten, wobei die Verfahren des RF-Magnetronsputterns und der gepulsten Laserablation gegenübergestellt werden. Der Einfluss der Prozessparameter auf die Schichteigenschaften wurde mit Hilfe von XRD, RBS, ERDA und TEM charakterisiert. Die resultierenden Unterschiede bezüglich Kristallinität und Schichtzusammensetzung werden hier dargestellt und diskutiert.