Regensburg 2007 – scientific programme

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DS: Fachverband Dünne Schichten

DS 24: Ion Beam Techniques

DS 24.8: Talk

Thursday, March 29, 2007, 13:00–13:15, H34

Transport von Ionen durch dünne Filme und Membrane — •Eva Unger, Thomas Kolling, Shutao Sun und Karl-Michael Weitzel — Fachbereich Chemie, Universitaet Marburg, Hans Meerweinstr., 35032 Marburg

Dünne Filmschichten und Membrane spielen in Forschung und Technik eine grosse Rolle, z. B. in der Mikroelektronik, Medizintechnik aber auch allgemein in der Oberflächenbearbeitung und -veredelung.

Ausgehend von Studien zur reaktiven Streuung von Ionen an filmbelegten Grenzflächen, u.a. an PPX-Filmen, haben wir in diesem Beitrag den Transport von Ionen durch freistehende PPX-Membrane studiert. Dazu wurden dünne PPX - (Poly-Para-Xylene) Schichten und PPX-Membrane variabler Dicke (100 nm bis 2 µm) durch Plasma-Dampfabscheidung (CVD) präpariert. So erzeugte Membrane wurden anschließend in einer Ultrahochvakuumkammer frei-stehend" positioniert und mit Cs⁺ Ionen beschossen. Durch die Membran hindurchtretende Teilchen wurden mit einem Mikrokanalplattendetektor nachgewiesen und bezüglich ihrer kinetischen Energie analysiert.

Wir können den Durchtritt von Cs⁺ Ionen nachweisen, finden jedoch auch deutliche Hinweise auf das Austreten von Elektronen und im geringen Umfang auch neutraler Cs Atome. Diese Teilprozesse werden vor allem als Funktion der Aufschlagsenergie (impact energy) und der Schichtdicke untersucht.