Regensburg 2007 – wissenschaftliches Programm

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HL: Fachverband Halbleiterphysik

HL 27: II-VI semiconductors

HL 27.5: Vortrag

Mittwoch, 28. März 2007, 15:15–15:30, H13

Optimierung von ZnSe-basierten leitfähigen Bragg-Spiegeln — •Kai Otte, Carsten Kruse und Detlef Hommel — Institut für Festkörperphysik, Universität Bremen, Otto-Hahn-Allee, 28359 Bremen

Hochreflektive Bragg-Spiegel (DBR) sind ein Schlüsselbaustein für oberflächenemittierende Laserdioden mit Vertikalresonator (VCSEL). Diese Spiegel, bestehend aus einer ZnSSe Schicht als Hochindexmaterial und einem MgS/ZnSe Üergitter als Niedrigindexmaterial wurden mittels Molekularstrahlepitaxie auf GaAs Substraten gewachsen. Mit diesen Schichten können Reflektivitäten von über 99% erreicht werden. Das ZnSe Materialsystem ermöglicht das Wachstum von DBRs im Wellenlängenbereich von 460nm bis über 600 nm.

Die Optimierung des Wachstums dieser Spiegel ist von entscheidender Bedeutung hinsichtlich der optischen und elektrischen Eigenschaften von VCSELn.

Dotierte DBRs ermöglichen die Herstellung von elektrisch betriebenen VCSEL-Strukturen. Die erzielbare Leitfähigkeit hängt stark von der Art der Dotierung und der Periodenzahl der Bragg-Spiegel ab.