Regensburg 2007 – wissenschaftliches Programm
Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe
O: Fachverband Oberflächenphysik
O 17: Poster Session I (Nanostructures at Surfaces; Metal Substrates: Epitaxy and Growth; Methods: Scanning Probe Techniques; Phase Transitions)
O 17.60: Poster
Montag, 26. März 2007, 17:30–20:30, Poster C
Erste Experimente mit einem EBIT-basierten Edelgas-FIB — Falk Ullmann1, •Frank Grossmann1, Vladimir Ovsyannikov1, Jacques Gierak2, Erik Bourhis2 und Günter Zschornack3 — 1DREEBIT GmbH, Dresden — 2Technische Universität Dresden, Dresden — 3LPN/CNRS Marcoussis, Frankreich
In FIB formierte hochfokussierte Ionenstrahlen sind von speziellen Interesse für Anwendungen in der Materialforschung, der Halbleiterindustrie und anderen Applikationsfeldern. Beschrieben wird hier die Formierung von Edelgasionenstrahlen in einer am LPN/CNRS Marcoussis entwickelten Nano-FIB-Säule, wobei als Quelle für die verwendeten Edelgasionen eine Dresden EBIT diente.
Die Dresden EBIT zeichnet sich durch eine gute Strahlemittanz, ihre Kompaktheit und ihre robuste Betriebsweise aus. In ersten Experimenten wurde das Funktionsprinzip eines Edelgas-FIB mit einem He1+-Ionenstrahl demonstriert. Dabei wurde gezeigt, dass die Ionenstrahlen bis in den Submikrometerbereich fokussiert werden können.
An verschiedenen Beispielen wird vermittels von Sekundärelektronenspektroskopie die Leistungsfähigkeit der Anlage als Ionenmikroskop demonstriert und über den Einsatz von Helium- Argon- und Xenonstrahlen wird berichtet.
Prinzipiell können mit der Kopplung einer FIB-Säule mit einer Dresden EBIT auch Strahlen hochgeladener Ionen erzeugt werden. Mögliche Parameter einer solchen Anlage werden diskutiert.