Regensburg 2007 – scientific programme

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VA: Fachverband Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Desorption mechanisms and vacuum generation

VA 2.3: Talk

Monday, March 26, 2007, 12:15–12:30, H9

Trockenverdichtende Schraubenvakuumpumpen in anspruchsvollen Applikationen — •Thomas Dreifert — Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, Bonner Str. 498, 50968 Köln

Seit 2003 werden von Oerlikon Leybold Vacuum Schraubenvakuumpumpen der Baureihe *ScrewLine* produziert und in zahlreichen Applikationen eingesetzt. Die Pumpen werden ohne Öl im Schöpfraum betrieben und sind für sehr niedrige Arbeitsdrücke optimiert.

Hauptmerkmal der ScrewLine sind einseitig (*fliegend*) gelagerte Rotore. Auf der Einlass- bzw. Vakuumseite sind somit keine anfälligen Dichtungen und Lager vorhanden. Die Pumpen sind deshalb sehr robust gegenüber Stäuben und aggressiven Dämpfen. Weiterhin kann eine Kontamination der Prozesskammern durch Schmiermittel aus der vakuumseitigen Lagerung sicher ausgeschlossen werden.

Von großem Vorteil ist ferner die Tatsache, daß die Rotore innen durch Öl gekühlt werden. Die ScrewLine-Pumpen weisen daher ein niedriges sowie homogenes Temperaturniveau ohne *hot spots* auf. Aus dem Kühlkonzept resultieren unter allen Betriebsbedingungen nahezu konstante Spalthöhen zwischen Rotoren und Gehäuse. Die ScrewLine kann deshalb auch als luftgekühlte Ausführung angeboten werden.

An mehreren Beispielen wird gezeigt, daß die ScrewLine-Pumpen für ein breites Spektrum von Applikationen hervorragend geeignet sind und bei den Betriebskosten und bei der Anlagenverfügbarkeit deutliche Vorteile gegenüber Drehschieberpumpen bieten. Sie werden deshalb sowohl in sehr harten Industrieanwendungen wie auch in sehr sauberen Forschungsapplikationen häufig eingesetzt.