Regensburg 2007 – scientific programme

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VA: Fachverband Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 3: Vacuumnanoelectronics: fabrication, properties and applications

VA 3.6: Talk

Monday, March 26, 2007, 16:10–16:40, H9

Untersuchungen zur Vakuumdruckmessung einer BAG mit CNT-Feldemissionskathode — •Wolfram Knapp¹, Detlef Schleussner¹ und Martin Wüest² — ¹Otto-von-Guericke-Universät Magdeburg, IEP, Universitätsplatz 2, D-39106 Magdeburg, Deutschland — ²Inficon GmbH, Alte Landstr. 6, LI-9496 Balzers, Liechtenstein

Seit dem Vorschlag von Baptist, Feldemitterarrays (FEAs) mit Microtip-Kathoden [1] als Elektronenquellen in Vakuummessgeräten einzusetzen, ist über ein Jahrzehnt vergangen, ohne das nennenswerte Anwendungen erzielt werden konnten. Die Ursachen hierfür sind die kostenintensive Herstellung der FEAs im Vergleich zu Glühkathoden und die Anfälligkeit der Microtips gegenüber den Vakuumbelastungen. Ausgehend von Grundlagenforschungen zur Stressbelastung von CNT-Feldemittern mit erfolgsversprechenden Ergebnissen [2], werden eigene Untersuchungen zum Einsatz von Elektronenquellen mit CNT-Feldemittern, externer und eigener Fertigung [2], in einer Bayard-Alpert-Messröhre mit Emissionsströmen bis 1 mA und einer oberen Druckmessgrenze von über 1 Pa vorgestellt, mit gleichwertigen Untersuchungen von Dong [3] verglichen und einige Besonderheiten und Vorteile im Vergleich zur BAG mit Glühkathode diskutiert.

[1] R. Baptist et al., J. Vac. Sci. Technol. B 14 (1996) 2119.

[2] W. Knapp et al., Appl. Surf. Science 251 (2005) 164.

[3] C. Dong et al., Applied Physics Letters 84 (2004) 5443.