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DS: Fachverband Dünne Schichten

DS 14: Optical Layers: Basic Research and Applications

DS 14.2: Hauptvortrag

Dienstag, 26. Februar 2008, 12:30–13:00, H 2032

Optische Prüfverfahren für die Qualitätssicherung in der Schicht- und Oberflächentechnik — •Uwe Beck — BAM, Fachgruppe VI.4 Oberflächentechnologien, Unter den Eichen 87, 12205 Berlin

Optische Prüfverfahren sind prädestiniert für den Einsatz in der Qualitätssicherung, weil sie zerstörungsfrei, berührungslos und schnell Informationen komplexer Schicht- und Materialsysteme liefern. Von besonderem Interesse sind dabei Schichtdicken, topographische Merkmale (Rauheit, Welligkeit) und optische Materialkenngrößen (Brechungsindex, Extinktionskoeffizient).

Während Bauteile vom Typ Makro sind, haben Schichten und deren spezifische Ausprägungen (Herstellung, Defekte) Dimensionen vom Typ Mikro oder Nano. Von besonderem Interesse ist die ortsaufgelöste Identifikation von Merkmalen im Vergleich zur globalen Umgebung (Homogenität) oder bezüglich einer Referenzprobe (Reproduzierbarkeit). Gleiches trifft auf Vorher-Nachher-Analysen (Beanspruchung, Degradation) zu. Daher sind "Fingerabdrücke" der Oberfläche sowie Imaging- und Replika-Techniken von besonderer Bedeutung.

Es werden typische Einsatzgebiete optischer Prüfverfahren z.B. der spektralen Ellipsometrie (SE), der Streifenlichtprojektion (FP), der Weißlichtinterferenzmikroskopie (WLIM), der Atomkraftmikroskopie (AFM) und von Röntgenverfahren (RFA, XRR) vorgestellt. Der kombinierte Methodeneinsatz erlaubt die Validierung von Schichtdicken, Topographie- und Materialkenngrößen, was an ausgewählte Beispielen diskutiert wird.