Berlin 2008 – wissenschaftliches Programm

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DS: Fachverband Dünne Schichten

DS 17: Poster: Trends in Ion Beam Technology, Magnetism in Thin Films, Functional Oxides, High-k Dielectric Materials, Semiconductor Nanophotonics, Nanoengineered Thin Films, Layer Deposition Processes, Layer Growth, Layer Properties, Thin Film Characterisation, Metal and Amorphous Layers, Application of Thin Films

DS 17.37: Poster

Dienstag, 26. Februar 2008, 09:30–13:30, Poster A

Kogesputterte Materialien - Einflüsse der Zusammensetzung auf verschiedene Eigenschaften unter Berücksichtigung optischer Funktionalität. — •Christina Polenzky — Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST), Bienroder Weg 54e, 38108 Braunschweig, Deutschland

Ein komplexer Ansatz des optischen Filterdesigns beruht auf einem kontinuierlichen, sinusförmigen Brechzahlprofil, sogenannte Rugate-Filter. Die Vorteile dieses Filter-Typs gegenüber einem herkömmlichen HL-Filter liegen darin, dass es keine scharfen Grenzflächen innerhalb des Schichtsystems gibt, die das thermische und mechanische Verhalten eines optischen Filters stark begrenzen können. In der Praxis lässt sich ein kontinuierliches Brechzahlprofil gut realisieren, indem viele dünne Schichten mit geringen Brechungsindexunterschieden übereinander abgeschieden werden. Diese werden prozesstechnisch meist durch das Mischen zweier Einzelmaterialien in unterschiedlichen Anteilen realisiert. Für das Design des Rugate-Filters wurden bisher, soweit bekannt, nur die optischen Eigenschaften berücksichtigt. In der Anwendung stehen den Vorteilen des Rugates (Wegfall von Grenzflächen) höchste Anforderungen an die Schichtstapel hinsichtlich Haftung und Spannung, auch unter Temperaturbelastung, gegenüber. Beide Eigenschaften sind bei Rugates kritischer als bei konventionellen Filtern, da diese tendenziell aufgrund der geringen optischen Dichte dicker ausfallen.