Darmstadt 2008 – scientific programme

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A: Fachverband Atomphysik

A 10: Posters: Atomic clusters

A 10.2: Poster

Tuesday, March 11, 2008, 16:30–18:30, Poster C3

Aufbau eines Mikrowellenreaktors zur CVD-Synthese von Diamantclustern — •David Wolter, Lasse Landt, Thomas Möller und Christoph Bostedt — IOAP - Technische Universität Berlin

Diamantwachstum aus thermisch zersetztem Wasserstoff- und Methanradikalen in CVD (chemical vapour deposition) Reaktoren ist seit etwa zwei Jahrzehnten ein aktives Gebiet der Forschung. Eine Möglichkeit die benötigten Radikale zu erzeugen ist die Reaktionsgase in Mikrowellen - Plasmareaktoren zu zersetzen.

Wir studieren verschiedene Mikrowellenreaktor-Designs zur CVD Synthese von Diamantclustern. Zur Ausbildung der stehenden Welle ist die Geometrie des Reaktors von zentraler Bedeutung. Die Mikrowelleneinkopplung wurde zunächst am Computer simuliert und eine optimale Geometrie für maximale Energieeinkopplung bestimmt. Der Übergang vom Rechteckhohlleiter zum zylindrischen Resonator des Reaktors wurde entsprechend der Simulationen angefertigt, um einen möglichst verlustfreien Übergang von der rechteckigen Mode zur zylindrischen Mode zu realisieren. Erste Versuche mit der resultierenden Reaktorgeometrie ein stabiles Ar-Plasma zu erzeugen verliefen erfolgreich.