Darmstadt 2008 – wissenschaftliches Programm

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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 7: Laser - Systeme und Anwendungen I

K 7.1: Hauptvortrag

Donnerstag, 13. März 2008, 14:00–14:30, 3E

Mikrostrukturierter Optik für Excimer-Laser basierte Systeme: Anwendungen zur Abbildung, Strahlformung und Kohärenzmanagement — •Robert Brunner — Carl Zeiss AG, Jena, Deutschland

Als Lichtquelle mit hoher Energiedichte und kurzer Wellenlänge eignen sich Excimer-Laser Systeme hervorragend für eine breite Applikationsvielfalt und spielen eine zentrale Rolle z.B. in der Halbleiter-Lithografie, der Masken-Inspektion, der Materialbearbeitung und der refraktiven Augenchirurgie. In diesen Anwendungsfeldern ist zu beobachten, dass die Systemanforderungen bezüglich optischer Performance von einer Produktgeneration zur nächsten drastisch steigen. Die mikrostrukturierte Optik bietet hier vielfältige Möglichkeiten die System-Performance zu verbessern. Besonders vielversprechend sind dabei hybrid-optische Systeme in der Kombination aus diffraktiv abbildenden und klassisch refraktiv wirkenden Elementen. Besonders durch die stark variierende Strahlcharakteristik von Excimer-Lasern, kommt dem Design und der Leistungsfähigkeit des Beleuchtungssystems eine enorme Bedeutung zu. Geometrisch und lateral statistisch verteilte refraktive *Mikrolinsen* erlauben hier eine maßgeschneiderte Strahlformung und Kohärenzbeeinflussung.