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MS: Fachverband Massenspektrometrie
MS 1: Laser-Massenspektrometrie und Laser-Ionenquellen
MS 1.5: Talk
Monday, March 10, 2008, 15:15–15:30, 3E
Methodik zur Charakterisierung der Zusammensetzung des zerstäubten Sekundärteilchenflusses über photoinduzierte Ionenbildungsprozesse — •Guido Vering und Heinrich Arlinghaus — Physikalisches Institut, Universität Münster
Die quantitative Bestimmung der elementaren Zusammensetzung einer Festkörperoberfläche mit Hilfe der durch Primärionenbeschuss zerstäubten Sekundärteilchen wird limitiert durch den Einfluss, den die chemische Umgebung auf die Zusammensetzung des Sekundärteilchenflusses jedes Elements X ausübt. Dies betrifft sowohl das Verhältnis zwischen dem atomar oder molekular emittierten Anteil des Sekundärteilchenflusses als auch den Ladungszustand. Während geladene Sekundärionen direkt massenspektrometrisch erfasst werden können, ist eine Analyse der Sekundärneutralteilchen über Wechselwirkungsprozesse mit Photonen möglich. Bei atomaren Sekundärteilchen kann, abhängig von den Parametern des verwendeten Lasersystems, eine nicht resonante oder resonante Nachionisierung erfolgen, bei molekularen Sekundärteilchen sind zusätzlich Photofragmentierungsprozesse bis hin zur Atomisierung möglich. Die Kombination eines 193 nm Excimerlasers und eines resonant abstimmbaren Lasersystems ermöglicht es, Änderungen der durch verschiedene Ionenbildungsprozesse hervorgerufenen Anteile der im Massenkanal des Elements X detektierten Ionen zu erfassen. So konnte exemplarisch für Bor in metallischen Matrices gezeigt werden, dass, insbesondere unter dem Einfluss von Sauerstoff, signifikante Verschiebungen zwischen atomarem und molekularem Anteil des Sekundärteilchenflusses erfolgen.