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P: Fachverband Plasmaphysik

P 15: Niedertemperaturplasmen, Plasmatechnologie II

P 15.3: Vortrag

Donnerstag, 13. März 2008, 15:00–15:15, 2G

PECVD Abscheidung von C-Si Gradientenschichten auf Metallen — •Benedikt Niermann, Janine Schauer, Azadeh Hosseini Badakhshani und Jörg Winter — Institut für Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum, 44780 Bochum, Germany

Für viele Anwendungen, die hohe Anforderungen an die Belastbarkeit und Lebensdauer von Bauteilen stellen, bietet sich Diamond-like Carbon (DLC) im Bereich der Oberflächenbeschichtung an. DLC ist dabei nicht nur durch gute Korrosions- und Abriebsfestigkeit gekennzeichnet, sondern kann aufgrund chemischer Inertheit und Biokompatibilität gerade auch im Bereich medizinischer Implantate eingesetzt werden. Problematisch beim Einsatz von DLC ist die unzureichende Haftung dieser Schichten auf den meisten Metallen.

Ein viel versprechender Lösungsansatz ist die Verwendung einer Übergangsschicht zwischen Substrat und DLC-Schicht, um sowohl eine stärkere Haftung der Schicht auf dem Substrat zu erreichen, als auch eine Reduktion des inneren Stresses in der Schnittstellenregion. Hierfür bietet sich amorphes hydriertes Silizium (a-Si:H) als Haftvermittler an, da es durch die Bildung von Silicid-Bindungen die Adhäsion von DLC auf Metallen deutlich verbessern kann. Dies wird anhand gradueller Übergängen von a-Si:H nach DLC auf Nickel-Titan Formgedächtnislegierungen untersucht. Die Charakteristika und Zusammensetzung der Schichten werden in situ mit Hilfe von Ellipsometrie untersucht, sowie durch ex situ - Ellipsometrie und Messungen der Abriebsfestigkeit ergänzt. Erste Ergebnisse dieser Verfahren werden vorgestellt.