Darmstadt 2008 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 6: Niedertemperaturplasmen, Plasmatechnologie I

P 6.3: Vortrag

Dienstag, 11. März 2008, 17:30–17:45, 2G

Messung der Ionengeschwindigkeitsverteilung in der Schicht eines thermionischen Ar/O₂-Plasma. — •Sebastian Enge, Farah Aziz, Alf Köhn, Eberhard Holzhauer und Ulrich Stroth — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, 70569 Stuttgart

In vielen Technologischen Anwendungen spielt die Auftreffenergie der Ionen auf dem Substrat eine bedeutende Rolle. Diese Energie gewinnen die Ionen im Potential der Plasmarandschicht vor dem Substrat. In einigen Prozessen werden elektronegative Gase wie zum Beispiel Sauerstoff benötigt. Diese können negative Ionen bilden, welche den Potentialverlauf beeinflussen, und somit auch die Prozessqualität. Durch die Messungen der Argonionen-Geschwindigkeitsverteilung in der Schicht lässt sich der Potentialverlauf ermitteln. Dazu wurde eine laserinduzierte Fluoreszenz-Diagnostik (LIF) aufgebaut, welche einen Diodenlaser mit einer optische Leistung von 25 mW bei 668,6 nm, und einen modensprungfreien Abstimmbereich von 20 GHz verwendet. Im ersten Schritt wurde in einer thermionischen Entladung das Schichtpotential bestimmt. Als Arbeitsgase wurden Argon/Sauerstoff-Gemische mit unterschiedlichen Anteilen verwendet. Die Messungen werden mit Ergebnissen aus PIC-Simulationen verglichen. In diesem Beitrag werden der experimentelle Aufbau und erste Ergebnisse vorgestellt.