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Darmstadt 2008 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 6: Niedertemperaturplasmen, Plasmatechnologie I

P 6.4: Vortrag

Dienstag, 11. März 2008, 17:45–18:00, 2G

Charakterisierung der optischen Emissionsprozesse von Mikroplasma-ArraysJochen Waskönig1, •Volker Schulz-von der Gathen2, Deborah O’Connell2 und Jörg Winter21Centre for Plasma Physics, Queen’s University Belfast — 2Cener for Plasma Science and Technology, Ruhr-Universität Bochum

Mikroplasmen existieren in vielen unterschiedlichen Konfigurationen und sind insbesondere hinsichtlich ihrer vielfältigen Anwendungsmöglichkeiten von grossem Interesse. Die hier untersuchten Mikroplasma-Arrays wurden von der Gruppe von G. Eden [1] entwickelt und bestehen aus 50 · 50 pyramiden-fömigen Mikroentladungen von jeweils 50 µm Kantenlänge, die parallel geschaltet sind. Als Trägergas werden Edelgase und Edelgasmischungen nahe Atmosphärendruck benutzt. Typische Betriebsleistungen liegen bei unter 10 W, bei Anregungsfrequenzen im Bereich von 20 kHz.

Vorgestellt werden hier emissionsspektroskopische Untersuchungen elektronischer Anregungsphänomene während der Zündphase einzelner Entladungen und des gesamten Arrays mit Hilfe von zeitaufgelösten Messungen von Strom und Spannung. Die Ergebnisse werden mit phasenaufgelöster optischer Emissionsspektroskopie (PROES) korreliert. Die Ortsauflösung des optischen Systems erlaubt es phasen-synchron zur Anregung die Reaktionen des Systems und einzelner Mikroentladungen auf die Variation von Anregungsspannung, Anregungsfrequenz und Pulsform zu untersuchen.

[1] J G Eden and S-J Park, Plasma Phys. Control. Fusion 47 (2005) B83 - B92

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