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P: Fachverband Plasmaphysik

P II: Poster: Niedertemperaturplasmen, Plasmatechnologie

P II.16: Poster

Dienstag, 11. März 2008, 11:00–13:00, Poster C3

Anregung von Harmonischen in kapazitiven Hochfrequenzentladungen: Ein räumlich aufgelöstes nichtlineares Modell — •Markus Gebhardt, Dennis Ziegler, Martin Lapke, Mustafa Bayrak, Thomas Mussenbrock und Ralf Peter Brinkmann — Ruhr Universität Bochum

Die Anregung von Harmonischen in kapazitiven Hochfrequenzentladungen ist ein Phänomen hervorgerufen durch die Wechselwirkung zwischen linearem Plasmabulk und nichtlinearer Plasmarandschicht. Dieses Phänomen wurde analytisch bisher auf der Basis globaler und räumlich aufgelöster Modelle unter Berücksichtigung einer qudratischen Näherung der Spannungs-Ladungs-Kennlinie der Plasmarandschicht untersucht. In diesem Beitrag wird ein räumlich aufgelöstes Modell für beliebige Entladungsgeometrien vorgeschlagen, das eine realistische Randschichtdynamik auf der Basis eines konsistenten Randschichtschichtmodells berücksichtigt.