Darmstadt 2008 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P II: Poster: Niedertemperaturplasmen, Plasmatechnologie

P II.3: Poster

Tuesday, March 11, 2008, 11:00–13:00, Poster C3

Entwicklung einer mikrowellenbasierten Atmosphärendruck-Mikroplasmaquelle — •Christian Langbein, Ulrich Schweitzer, Andreas Schulz, Matthias Walker und Ulrich Stroth — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, D-70569 Stuttgart

In vielen Bereichen der industriellen Produktion und der Medizin werden zunehmend Plasmen für lokale Behandlungen eingesetzt. Um auch sehr kleine Gebiete behandeln zu können, ist es daher nötig, Plasmen mit geringer Ausdehnung zu erzeugen, die das zu behandelnde Material so wenig wie möglich erhitzen.

Es wurden verschiedene Realisierungen einer solchen Plasmaquelle untersucht. Im ersten Schritt erfolgte dies mit Hilfe von FEM-Simulationen, insbesondere bezüglich der maximal auftretenden elektrischen Feldstärke zur Zündung und den Möglichkeiten zur Abstimmung der Anordnung. Besondere Anforderung an die Mikroplasmaquelle war hierbei, dass ein Betrieb mit einer geringen HF-Leistung bei Atmosphärendruck möglich sein soll. Bei der Behandlung von hitzeempfindlichen Werkstoffen ist es nötig, die Erwärmung durch das Plasma zu minimieren. Aufgrund dessen wurde ein im MHz-Bereich pulsbarer 2,45 GHz-Generator entwickelt, womit eine Reduzierung der Plasmatemperatur erreicht wird.

Präsentiert werden Messergebnisse an ausgewählten Geometrien, die unter anderem durch optische Emissionsspektroskopie gewonnen wurden.