Darmstadt 2008 – wissenschaftliches Programm
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P: Fachverband Plasmaphysik
P II: Poster: Niedertemperaturplasmen, Plasmatechnologie
P II.6: Poster
Dienstag, 11. März 2008, 11:00–13:00, Poster C3
Untersuchung von plasmapolymerisierten Barriereschichten für flexible Dünnschichtsolarzellen mittels In-situ-FTIR — •Jochen Kopecki, Evelyn Häberle, Andreas Schulz, Matthias Walker und Ulrich Stroth — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, D-70569 Stuttgart
Die plasmagestützte Abscheidung von Barriereschichten ist, u. a. in der Photovoltaik, von großer technologischer Bedeutung. In dieser Arbeit wurden isolierende, diffusionsunterdrückende Schichtsysteme für flexible Dünnschichtsolarmodule mit Mikrowellenplasmen hergestellt.
Zur nicht-destruktiven, kostengünstigen Analytik von Schichtsystemen eignet sich die FTIR-Spektroskopie. Eine solche wurde an einen modularen Beschichtungsreaktor adaptiert, so dass mittels In-situ-FTIR die molekulare Zusammensetzung der Schichtsysteme in Abhängigkeit der Prozessparameter während des Abscheideprozesses beobachtet werden kann. Dies ist wichtig, da die Zusammensetzung maßgeblich für Haftung, Flexibilität und Diffusionswirkung der Schicht verantwortlich ist. Unter anderem wurden SiOx- (SiNx-) Schichten bei Mischungsverhältnissen HMDSO : O2 (SiH4 : NH3) von 1 : 20 bis zu 1 : 0 untersucht. Bei dünnen Schichten bis zu einigen 100 nm wurde der Berreman-Effekt beobachtet, welcher die Bestimmung makroskopischer Größen wie z. B. der dielektrischen Funktion ermöglicht. Neben der Intensität einzelner Banden spielen Halbwertsbreite und Position eine entscheidende Rolle in der Auswertung der gewonnenen Spektren, da hieraus auf die Struktur der gewachsenen Schicht geschlossen werden kann.