Darmstadt 2008 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P III: Poster: Diagnostik, Theorie, Schwerionen- und lasererzeugte Plasmen, Sonstiges

P III.17: Poster

Dienstag, 11. März 2008, 11:00–13:00, Poster C3

Produktanalyse der Plasmaaminierung mittels kombinierter CRD und 2D-LIF Spektroskopie — •Martin Visser und Andreas Schenk — Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, TU Braunschweig, Deutschland

In früheren Arbeiten konnten Mikrostrukturierte Elektrodensysteme (MSE) als Plasmaquelle für einen weiten Druckbereich (bis 500 mbar)etabliert und in vielfältigen Anwendungsgebieten, wie z.B. Abgasnachbehandlung (Abbau von NO, CF4)und Obeflächenmodifikation (DLC-Schichten, Quarzschichten auf Cu, Si, und Polymeren) erfolgreich getestet werden. Gegenstand der aktuellen Untersuchung ist die Plasmaaminierung von Polymeren. Von besonderem Interesse ist dabei die Konzentration reaktiver Intermediate (NH-Radikale) im Plasma. Unser Ziel ist die Kombination zweier etablierter Techniken - CRD und 2D-LIF - um die räumliche Verteilung der Spezies, sowie deren absolute Konzentration bestimmen zu können. Als Plasmaquelle dient ein einfacher Plattenkondensator, das Plasma wird mit 13.56 MHz bei Drücken zwischen 20 und 100 mbar in Gasgemischen He,Ar/N2/H2 oder He,Ar/NH3 mit einem Reaktivgasanteil von maximal 5% gezündet. Zum Nachweis der Radikale wird ein Nd-YAG gepumpter Dye-Laser mit nachgeschaltetem Autotracker bei einer Wellenlänge von etwa 333 nm verwendet. CRDS liefert dabei die absolute Konzentration, um die räumliche Verteilung zu erhalten wird ein Laserfächer erzeugt und die erzeugte Fluoreszenz auf einer ICCD-Kamera abgebildet.