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Q: Fachverband Quantenoptik und Photonik

Q 13: Laserentwicklung (Nichtlineare Effekte und Anwendungen)

Q 13.7: Vortrag

Dienstag, 11. März 2008, 12:30–12:45, 3H

PLD-hergestellte, kristalline Antireflexbeschichtungen und dichroitische Spiegel — •Friedjof Tellkamp, Teoman Gün, Bilge Ileri, Klaus Petermann und Günter Huber — Institut für Laser-Physik, Universität Hamburg, Luruper Chaussee 149, 22761 Hamburg

Mittels Pulsed Laser Deposition (PLD) hergestellte kristalline Vielschichtsysteme wurden bezüglich ihrer strukturellen und optischen Qualität analysiert. Die Schichtsysteme werden in situ mittels Reflection High Energy Electron Diffraction (RHEED) und Reflektometrie sowie ex situ mittels Röntgenstrukturanalyse (XRD) und Spektroskopie auf Transmissivität und Struktur untersucht.

Es konnte anhand der Antireflexsysteme Sc2O3/Al2O3 auf (0001)-Saphir und LuAG/YAG auf {100}-YAG gezeigt werden, dass sich die Reflexion um das theoretisch zu erwartende Maß reduzieren lässt. Die XRD-Messungen lassen auf ein texturiertes Wachstum der Schichten schließen. Die RHEED-Analyse an dem System LuAG/YAG auf YAG zeigt einkristallines Schichtwachstum.

Ferner wurden gitterangepasste LuGdAG-Schichten untersucht. Die mittels XRD gemessene Gitterfehlanpassung lag bei < 0,5 %; mit RHEED konnte epitaktisches Wachstum auch nach Deposition von 29 Schichten bei einer Gesamtdicke von 1850 nm gezeigt werden. Allerdings wurde eine sich kontinuierlich vermindernde Depositionsrate festgestellt, sodass die Reflexionseigenschaften dieser dichroitischen Spiegel noch nicht zu beobachten waren. Eine in situ Schichtdickenregelung wird dieses Problem in Zukunft beheben.