Darmstadt 2008 – scientific programme

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SYLM: Symposium Lasermaterialbearbeitung

SYLM 1: Strahlquellen

SYLM 1.3: Invited Talk

Wednesday, March 12, 2008, 15:00–15:30, 2B/C

Excimerlaser Stand der Technik — •Claus F. Strowitzki — Coherent GmbH, Zielstattstrasse 32, 81379 München

Excimerlaser sind das Arbeitspferd in vielen Applikationen. Durch den präzisen Abtrag kleiner Materialmengen ist der Excimerlaser für Applikationen in der Mikrostrukturierung besonders geeignet. Die Lasermaterialbearbeitung stellt hohe Ansprüche an die Lasersysteme. Insbesondere die Strahlparameter sollten möglichst stabil über die Lebensdauer der Systeme sein. Es wird ein Überblick über den derzeitigen Stand der Technik für Lasersysteme gegeben.