Darmstadt 2008 – scientific programme

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SYOF: Symposium Anwendungen der Plasmatechnik in der Herstellung optischer Funktionsschichten

SYOF 1: Herstellung

SYOF 1.2: Invited Talk

Wednesday, March 12, 2008, 14:40–15:10, 2G

Herstellung komplexer Interferenzschichtfilter — •Harro Hagedorn — Leybold Optics, Alzenau

Als Techniken zur Herstellung anspruchsvoller optischer Interferenzfilter kommen Beschichtungsverfahren wie das Ionen- oder Plasma unterstützte Aufdampfen, das Magnetronsputtern oder das Ionenstrahlsputtern zum Einsatz. Die immer komplexeren Anforderungen an die Schichtsysteme fordern den Einsatz von direkter optischer Schichtdickenkontrolle. Mit einer Weiterentwicklung des Magnetronsputterns, dem Plasma unterstütztem Magnetronsputtern (PARMS), lassen sich extrem komplexe Schichtsysteme mit hoher Genauigkeit herstellen. Durch den zusätzlichen Plasmaeinsatz und in Verbindung mit direktem optischen Monitoring können hervorragende Schichteigenschaften, hohe Präzision und hohe Beschichtungsraten realisiert werden.