Darmstadt 2008 – scientific programme

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SYOF: Symposium Anwendungen der Plasmatechnik in der Herstellung optischer Funktionsschichten

SYOF 2: Plasmatechnik/ Anwendungen/ Analytik

SYOF 2.1: Invited Talk

Wednesday, March 12, 2008, 16:30–17:00, 2G

Plasmaverfahren für optische Anwendungen - früher und heute — •Ralf Fellenberg — VDI Technologiezentrum GmbH

Plasmaverfahren und -prozesse werden schon seit vielen Jahren erfolgreich für optische Anwendungen eingesetzt. Optische Schichten haben in Deutschland eine lange Tradition. Schon in der ersten Hälfte des vorigen Jahrhunderts haben sich die Unternehmen Carl Zeiss und Schott in Jena mit der Entwicklung derartiger Schichten beschäftigt. Heutzutage werden Plasmen eingesetzt zur Reinigung, Strukturierung und zum Polieren von Oberflächen aber auch zur Funktionalisierung bis hin zur Abscheidung von Multifunktionsschichten. In diesen Bereichen existieren zahlreiche Anwendungen.