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Darmstadt 2008 – scientific programme

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SYOF: Symposium Anwendungen der Plasmatechnik in der Herstellung optischer Funktionsschichten

SYOF 2: Plasmatechnik/ Anwendungen/ Analytik

SYOF 2.3: Invited Talk

Wednesday, March 12, 2008, 17:30–18:00, 2G

Plasmagestützte Beschichtungen auf Brillengläsern — •Bernhard Gänswein — Maximilian-Lorenz-Str. 4, 73433 Aalen

Das vergütete Brillenglas zählt heute zu den selbstverständlichen Produkten für den Brillenträger. Die leichteren Kunststoffbrillengläser sind ohne harter Ver-gütung kaum denkbar. Doch bei ihrer Herstellung müssen weit schwierigere Hürden überwunden werden, wenn man das Ziel von harten und stabilen Schichten erreichen möchte. Hierbei setzen sich zunehmend Beschichtungsverfahren durch, die zur Deckung des erhöhten Energiebedarfs während des Aufdampfens der dünnen Schichten im Vakuum Plasmatechno-logien einsetzen. Dazu müssen die Anlagen mit zusätzlichen Komponenten der Plasmaerzeugung ausgerüstet werden, im wesentlichen heisst das die Bereitstellung von elektrischer Hochspannung im KV-Bereich mit allen zusätzlichen Sicherheitsmassnahmen. Das bedeutet eine Verteuerung der ganzen Produktionsanlage mit der Folge eines teureren Brillenglases. Als Plasmaverfahren haben sich durchgesetzt: das IAD Verfahren (Ion assisted deposition oder ionenunterstütztes Aufdampfen); das Sputtern oder die Katodenzerstäubung; PECVD plasma enhenced chemical vacuum deposition; APS (advanced plasma source: Leybold-Verfahren)

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