Darmstadt 2008 – scientific programme

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UP: Fachverband Umweltphysik

UP 10: Neuartige Verfahren in der Umweltphysik

UP 10.3: Talk

Thursday, March 13, 2008, 09:30–09:45, 3B

Zersörungsfreie und berührungslose Speziation von Nanopartikeln auf Halbleiteroberfächen durch TXRF-NEXAFS — •Falk Reinhardt^1,2, Burkhard Beckhoff¹, Harald Bresch³, Birgit Kanngießer², Matthias Müller¹, Beatrix Pollakowski¹, Stefan Seeger³ und Gerhard Ulm¹ — ¹Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestr. 2-12, 10587 Berlin — ²Technische Universität Berlin, Sekr. EW 3-2, Hardenbergstr. 36, 10623 Berlin — ³Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung, Unter den Eichen 87, IV.24, 12205 Berlin

Die Methode der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz (TXRF) kann bei Anregung mit monochromatisierter Synchrotronstrahlung mit Nachweisgrenzen im Femtogrammbereich effektiv zur quantitativen Analyse von auf Oberflächen deponierten Partikeln beitragen. In Verbindung mit der Untersuchung der Absorptionskantenfeinstruktur (TXRF-NEXAFS), welche durch die Durchstimmbarkeit der Synchrotronstrahlung ermöglicht wird, kann darüber hinaus eine chemische Speziation der Partikelbestandteile vorgenommen werden.

Mit einem Kaskadenimpaktor wurden verschiedene Titanoxide mit Partikeldurchmessern bis unter 60 nm größenfraktioniert auf Siliziumwafern deponiert. Damit konnte sowohl die Größenabhängigkeit des Fluoreszenzsignals untersucht, als auch die Zuverlässigkeit von TXRF-NEXAFS bei der chemischen Speziation aufgezeigt werden.