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T: Fachverband Teilchenphysik

T 54: Halbleiterdetektoren I

T 54.2: Vortrag

Montag, 3. März 2008, 17:00–17:15, KGI-HS 1228

Messungen an standardisierten Silizium-Testsensoren — Tobias Barvich, Martin Frey, Alexander Furgeri, Frank Hartmann, •Karl-Heinz Hoffmann, Bernhard Ledermann, Thomas Müller, Hans-Jürgen Simonis und Pia Steck — Institut für Experimentelle Kernphysik, Universität Karlsruhe (TH)

In zukünftigen Beschleunigerexperimenten wie SLHC und ILC werden immer größere Flächen mit hochauflösenden Siliziumsensoren abgedeckt werden. Dafür ist eine schnelle Qualifizierung dieser Sensoren erforderlich. Da die Tests an einem Siliziumsensor sehr zeitintensiv sind und nicht alle interessanten Parameter jedes Sensors gemessen werden können, werden viele Messungen an standardisierten Teststrukturen vorgenommen. Diese verfügen über die selben Eigenschaften wie die Sensoren, da sie auf dem gleichen Wafer produziert wurden. Dadurch wird die Messung vieler Parameter innerhalb kurzer Zeit ermöglicht, wobei auch destruktive Messungen durchgeführt werden können. In Karlsruhe interessiert man sich besonders für die Strahlenhärte, Reinheit und den Produktionsprozess der Sensoren verschiedener Hersteller. Im Rahmen dieser Messungen wurde eine Teststation mit einem kühlbaren Jig entwickelt, der Kaltmessungen bis zu -30°C ermöglicht.