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DF: Fachverband Dielektrische Festkörper

DF 12: Poster II

DF 12.15: Poster

Mittwoch, 25. März 2009, 09:30–12:30, P5

Spektrale Untersuchungen im mmW und sub-mmW-Bereich für industrielle Anwendungen der Qualitätskontrolle — •Gört Oliver Luedtke¹, Klaus Wandelt¹ und Dirk Nüßler² — ¹Institut für Theoretische u. Physikalischee Chemie, Wegelerstr. 12, 53115 Bonn — ²FGAN-FHR, Abt. MHS, Neuenahrer Str 20, 53343 Wachtberg

Die kontinuierliche Kontrolle von Produktionsabläufen stellt eine große Herausforderung für moderne Messverfahren dar. Neben der Detektion von Verunreinigungen in Produkten sind auch die Überwachung und Nachjustierung von Prozessparametern eine wesentliche Anforderungen an die Produktionskontrolle. Im Gegensatz zu der Überwachung der reinen physikalischen Größen, geht es bei den Messverfahren um die fortlaufende Kontrolle am Produkt. Die in Echtzeit durchgeführte Qualitätskontrolle, erlaubt die Verwendung wesentlich geringerer Toleranzbereiche im Herstellungsprozess. Hierbei müssen Bewertungskriterien untersucht werden, die aus den gemessenen Größen die Steuerparameter für den Produktionsprozess ableiten. Die Integration von spektralen mmW und sub-mmW Untersuchungsmethoden in Produktionsabläufe erfordert dabei die Berücksichtigung sehr unterschiedlicher physikalischer Einflüsse. Neben makroskopischen Effekten wie Mehrfachreflektionen, Brechungsindizes oder Beugungs- und Streueffekte sind Gruppeneffekte, wie die Absorptionslinien unterschiedlicher Stoffe, wesentliche Ansatzpunkte eines Analyseverfahrens. Die vorgestellte Arbeit beschreibt die unterschiedlichen Einflüsse und zeigt an konkreten Beispielmessungen, wie entsprechende Effekte zur Produktionsüberwachung genutzt werden können.