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DS: Fachverband Dünne Schichten

DS 11: Layer Growth: Evolution of Structure and Simulation

DS 11.8: Vortrag

Dienstag, 24. März 2009, 15:45–16:00, GER 37

Wachstum dünner Ni₆₃Al₃₇-Legierungsschichten auf Cu(001) — •Wolfgang Donner¹ und Noureddine Anibou² — ¹Fachgebiet Materialwissenschaften, Strukturforschung, Technische Universität Darmstadt — ²XStream Systems Inc., Sebastian (FL), USA

Wir untersuchen den Einfluß epitaktischer Spannungen auf die Phasenstabilität dünner NiAl Schichten, die mittels Kathodenstrahlzerstäubung auf Kupfer Pufferschichten auf Silizium aufgewachsen wurden. Mit Hilfe systematischer Messungen an Proben unterschiedlicher Dicke und unter Nutzung der Tiefenselektivität von Röntgenbeugung unter streifendem Einfall kommen wir zu dem Schluß, daß die wachsenden Schichten eine Reihe struktureller Änderungen als Funktion der Schichtdicke erleiden. Die strukturelle Phase, die sich zuerst auf der Cu(001) Oberfläche bildet, stimmt nicht mit der von der mittleren Zusammensetzung her erwarteten Struktur überein. Vielmehr bildet sich zunächst die Phase, die die geringste Fehlanpassung zum Substrat aufweist. Dieser Effekt (composition pinning") ist von kovalent gebundenen Halbleiterschichten her bekannt, unter Metallschichten aber selten.