Dresden 2009 – wissenschaftliches Programm

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HL: Fachverband Halbleiterphysik

HL 9: Poster 1

HL 9.24: Poster

Montag, 23. März 2009, 14:30–17:00, P2

Aufbau und Erprobung eines einfachen GIXRF-Messplatzes — •Stephanie Fritze, Jürgen Bläsing und Alois Krost — Institut Experimentelle Physik, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Deutschland

Die Röntgenfluoreszenzanalyse unter streifendem Einfall ist eine Methode zur Strukturanalyse, die in den letzten Jahren immer mehr an Bedeutung gewonnen hat, um Konzentrationen von Elementen und Schichtdicken von Halbleiterstrukturen zu bestimmen. Aus der Kombination eines Röntgenfluoreszenz- und eines Röntgenreflektometrie-Messplatzes wurde ein GIXRF (Grazing Incidence X-Ray Fluorescence) Messplatz aufgebaut. Mittels kontinuierlicher, semimonochromatischer und monochromatischer Anregung wurden Schichtsysteme auf der Basis von (In,Ga,Al)N auf Silizium bzw. Saphir (MQW, DBR, FET) und dünne Schichten verschiedener Metalle (Kontaktierungen) untersucht. Erste Ergebnisse der Fluoreszenzauswertung werden mit Simulationen verglichen und den Messungen der Reflektometrie und der Diffraktometrie gegenübergestellt und interpretiert.