Dresden 2009 – scientific programme

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MM: Fachverband Metall- und Materialphysik

MM 8: Topical Session Nanoporous Functional Materials III

MM 8.1: Topical Talk

Monday, March 23, 2009, 14:45–15:15, IFW A

Geordnetes nanoporöses Aluminiumoxid: Ein vielseitiges Templatsystem — •Ulrich Gösele — MPI für Mikrostrukturforschung, Halle

Elektrochemisch hergestelltes anodischen Aluminiumoxid mit zweidimensionalen geordneten Nanoporen hat sich zu einem der vielseitigsten Templatsysteme für die Nanotechnologie entwickelt. Mit relativ geringem Aufwand lassen sich diese geordneten Nanostrukturen aus Aluminiumoxid mit verschiedenen Porendurchmessern und Abständen erzeugen. Die Porenstrukturen können dann mit verschiedensten Methoden entweder mit bestimmten Materialien gefüllt werden, was zu Nanodrähten führt, oder aber beschichtet werden, was Nanoröhren ergibt. Es wird auf neuere Entwicklungen der Herstellung mittels der sogenannten harten Anodisation eingegangen, die es erlauben, geordnete Strukturen wesentlich schneller als mit der üblichen milden Anodisation und mit einer gezielten Variation des Porendurchmessers herzustellen. Ultradünne poröse Aluminiummembranen können als Masken für die Herstellung geordneter Nanostrukturen verwendet werden, wie z. B. für vertikale einkristalline Siliziumnanodrähte mit Durchmessern unter 10 nm oder für ferroelektrische Nanokondensatoren für die Datenspeicherung.

Der Beitrag beruht auf veröffentlichten Forschungsergebnissen aus dem MPI-Halle, die in Zusammenarbeit mit zahlreichen Doktoranden, Postdocs und Mitarbeiterinnen erzielt wurden, denen ich hiermit herzlich danke. Besonders hervorgehoben seien hier nur Frank Müller, Kornelius Nielsch, Martin Steinhart, Woo Lee und Liufeng Liu.