Greifswald 2009 – scientific programme

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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 10: Laseranwendungen und Lasermaterialbearbeitung

K 10.2: Talk

Thursday, April 2, 2009, 14:00–14:15, HS Physik

Erzeugung von Submikrometerstrukturen in Dielektrika mittels zeitlich geformter Femtosekunden-Laserstrahlung — •Lars Englert, Lars Haag, Jutta Mildner, Cristian Sarpe-Tudoran, Alexander Horn, Matthias Wollenhaupt und Thomas Baumert — Universität Kassel, Institut für Physik und CINSaT, Heinrich-Plett-Str. 40, D-34132 Kassel, Germany

Femtosekunden Lasermaterialbearbeitung eröffnet in Kombination mit Pulsformungstechniken die Möglichkeit, die primären Ionisationsprozesse (Multiphotonen- und Avalanche-Ionisation) zu beeinflussen [1]. Die ultrakurze zeitlich geformte Laserstrahlung wird durch ein Mikroskopobjektiv auf Dielektrika fokussiert, wobei Strukturgrößen weit unterhalb der Beugungslimitierung erreicht werden [2]. Der neu eingesetzte spektrale Polarisationsformer ermöglicht entweder die Formung der Phase und Polarisation oder die Formung der Phase und Amplitude. Damit sind vielfältige zeitliche Polarisations- und Intensitätsverteilungen zugänglich, das Zeitfenster für geformte Laserstrahlung umfasst bis zu 13 ps. Die Entwicklung der Strukturgröße für verschiedene zeitliche Pulsfomen und Laserenergien wird anhand von Rasterelektronenmikroskopaufnahmen diskutiert.

[1] L. Englert et al. Opt. Express 15 17855–17862 (2007)

[2] L. Englert et al. Appl. Phys. A 92 749–753 (2008)