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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 6: EUV - Quellen und deren Anwendungen I

Donnerstag, 2. April 2009, 11:10–12:10, HS Physik

	11:10	K 6.1	Hauptvortrag: Lasergetriebene Röntgenquellen - Lichtquellen für die Nanotechnologie — •Christian Peth, Armin Bayer, Frank Barkusky, Stefan Döring, Peter Grossmann, Michael Reese und Klaus Mann
	11:40	K 6.2	Hauptvortrag: Extrem Ultraviolett Lithographie — •Klaus Bergmann