Greifswald 2009 – wissenschaftliches Programm

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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 8: EUV - Quellen und deren Anwendungen II

Donnerstag, 2. April 2009, 14:15–15:00, HS Biochemie (klein)

	14:15	K 8.1	Laserunterstütztes Aufheizen von elektrisch erzeugten Z-Pinchplasmen — •Stephan Wieneke, Stephan Brückner und Wolfgang Viöl
	14:30	K 8.2	Leistungsskalierung einer Lichtquelle basierend auf einer Zinn-Gasentladung für die EUV-Lithographie — •Felix Küpper, Jeroen Jonkers, Erik Wagenaars, Jürgen Klein und Willi Neff
	14:45	K 8.3	Analyse von Oberflächen und dünnen Schichten mittels EUV Strahlung — •Stefan Döring, Frank Barkusky, Armin Bayer, Christian Peth und Klaus Mann