Greifswald 2009 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 9: Poster: Niedertemperaturplasmen

P 9.3: Poster

Tuesday, March 31, 2009, 17:30–19:30, Foyer des IfP

Vergleich von kapazitiver mit induktiver HF-Einkopplung bei Niederdruckentladungen mit InBr — •Stefan Briefi, Ursel Fantz und Patrick Starke — Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg

Lichtquellen mit einer Abstrahlung im nahen UV-Bereich besitzen ein vielfältiges Anwendungsspektrum. Eine Steigerung der Effizienz dieser Lichtquellen verspricht die Verwendung von Metallhalogeniden (insbesondere InBr) in Niederdruckentladungen, da diese Moleküle ein breites und intensives Bandenspektrum im nahen UV-Bereich emittieren. Wegen der hohen Reaktivität von Metallhalogeniden muss bei deren Einsatz aber auf elektrodenlose Einkopplungskonzepte zurückgegriffen werden. Daher werden HF-Entladungen (Frequenz 13,56 MHz) in heizbaren, abgeschlossenen Glasröhren mit definiertem Inhalt (Edelgas und InBr) sowohl mittels kapazitiver als auch mittels induktiver Einkopplung erzeugt. Die verschiedenen Einkopplungsmethoden werden hinsichtlich der Plasmaparameter und der axialen Homogenität der Entladung in Abhängigkeit von der ins Plasma eingekoppelten Leistung spektroskopisch untersucht und verglichen.