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SYOT: Anwendungen der Plasmatechnik in den Optischen Technologien

SYOT 1: Optische Beschichtungen

SYOT 1.2: Hauptvortrag

Dienstag, 31. März 2009, 14:15–15:00, HS Physik

Entspiegelung transparenter Polymere durch Plasmaätzen — •Ulrike Schulz — Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik, Jena

Bei vielen optischen Komponenten besteht die Forderung, eine möglichst hohe Lichttransmission zu erreichen. Reflexionsverluste müssen deshalb durch spezielle Oberflächenvergütungen unterdrückt werden. Neben Interferenzschichten bietet sich bei Kunststoffoberflächen die Möglichkeit an, sogenannte "Mottenaugenstrukturen" für die Entspiegelung zu nutzen. Die Erzeugung solcher Subwellenlängen- Strukturen erfolgt auf PMMA und anderen Materialien unter dem Einfluss bestimmter Plasmaemissionen völlig selbstorganisiert. Durch Ergänzung eines Initialschrittes und Abwandlung der Prozessparameter gelingt die Entspiegelung von fast allen polymeren Materialien. Vor dem Ätzschritt wird eine dünne dielektrische Schicht aufgebracht, deren Art und Dicke die Strukturbildung beeinflusst. Im Vergleich zu Interferenzschichten kann durch die Subwellenlängenstruktur eine spektral sehr breitbandige Reflexminderung auf kompliziert geformten Oberflächen erreicht werden. Zusätzlich aufgedampfte dünne Schichten sind geeignet, die mechanische Beständigkeit zu verbessern und die Oberflächenenergie gezielt zu beeinflussen.