Greifswald 2009 – scientific programme

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SYOT: Anwendungen der Plasmatechnik in den Optischen Technologien

SYOT 2: Plasmatechnik

SYOT 2.1: Invited Talk

Tuesday, March 31, 2009, 15:50–16:35, HS Physik

Plasmatechniken für kleinskalige optische und mikrosystemtechnische Bauteile — •Andreas Ohl — Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie, Felix-Hausdorff-Str. 2, 17489 Greifswald

Anwendungen von Plasmen sind in der Optiktechnologie sehr weit verbreitet. Sie reichen von der Strahlungserzeugung, über verschiedene Beschichtungstechniken bis hin zu diversen Fertigungshilfen. Beeindruckend ist der Größenbereich von Bauteilen bzw. Strukturen an denen Plasmen zur Anwendung kommen. Beschichtungsanlagen auf der Basis von Sputterprozessen gehören mit zu den größten industriell angewendeten Plasmaanlagen und bearbeiten flächige Bauteile mit lateralen Dimensionen von vielen m2, z.B. Architekturglas. Bei optische Datenspeichern und reflexionsmindernden Schichten werden vertikale Strukturen im nm-Bereich präzise abgeschieden. Es überrascht daher nicht, dass die Optiktechnologie ein wichtiger Technologietreiber für die Plasmatechnik ist und interessante Problemstellungen für die Plasmaforschung generiert. Im vorliegenden Beitrag werden, beispielhaft dafür, neuere Entwicklungen der Plasmatechnik für optisch-mikrosystemtechnische Bauteile, vorzugsweise aus Kunststoffen, vorgestellt: Plasmafeinreinigung und Oberflächenfunktionalisierungen in engen Spalten und Strukturen, lokale Funktionalisierungen und Schichtabscheidungen mit Atmosphärendruck-Mikroplasma-Jets sowie Plasmabondverfahren für extrem präzise Bauteil-Fügungen. Zugrunde liegende physikalische und chemische Mechanismen werden diskutiert.